Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.07a
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- Pages.80-80
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- 2001
RTLPCVD법에 의해 sapphire(1102)위에 제작된 Si 박막의 특성
- Cha, Jeong-Ho ;
- Gang, Yun-Muk ;
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Lee, Se-Jun
;
- Park, Chan-Jin ;
- Jo, Hun-Yeong ;
- Lee, Jae-Ho ;
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Gang, Tae-Won
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Kim, Deuk-Yeong
- 차정호 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
- 강윤묵 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
-
이세준
(동국대학교 양자기능반도체연구센터)
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- 박찬진 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
- 조훈영 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
- 이재호 (헤세드 테크놀로지(주)) ;
-
강태원
(동국대학교 양자기능반도체연구센터)
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김득영
(동국대학교 양자기능반도체연구센터)
- Published : 2001.07.05
Abstract
Keywords