한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

증착조건 및 열처리조건에 따른 $HfO_2$게이트 유전막의 특성

  • 유정호 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 남석우 (연세대학교 세라믹공학과, 삼성전자 반도체연구소) ;
  • 남서은 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이동원 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2001.07.05
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드