Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.07a
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- Pages.53-53
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- 2001
B$_{10}H_{14}$ 을 이용한 ultra shallow-junction 형성 및 전기적 특성
- Song, Jae-Hun ;
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Song, Jong-Han
;
- Lee, Jun-Yeop ;
- Im, Seong-Il ;
- O, Min-Seok ;
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Choe, Deok-Gyun
;
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Choe, Won-Guk
- 송재훈 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
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송종한
(한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
- 이준엽 (연세대학교 응용물리학과) ;
- 임성일 (연세대학교 응용물리학과) ;
- 오민석 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
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최덕균
(한양대학교 무기재료공학과) ;
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최원국
(한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
- Published : 2001.07.05
Abstract
Keywords