한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $Ba_{0.5}Sr_{0.5}Tio_{3}$ 박막 커패시터의 제작과 전기적 특성에 관한 연구

  • 이태일 (청주대학교 전자공학과 대학원) ;
  • 박인철 (청주대학교 전자공학과 대학원) ;
  • 김홍배 (청주대학교 전자공학과 대학원)
  • 발행 : 2001.02.22
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