UHV-CVD와 UHV-ECRCVD를 이용한 게이트용 다결정 SiGe 박막 증착에 관한 연구

• Park, Jin-Won ;
• Im, Seung-Hyeon ;
• Yeo, Hwan-Guk ;
• Lee, Hong-Ro ;
• Yun, Ui-Jun ;
• Lee, Jong-Ho

• 박진원 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체 공동연구소) ;
• 임승현 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체 공동연구소) ;
• 여환국 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체 공동연구소) ;
• 이홍로 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체 공동연구소) ;
• 윤의준 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체 공동연구소) ;
• 이종호 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부)

• Published : 2001.02.22

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