Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

The hydrogen content of amorphous Si1-xGex films grown by ECR-UHVCVD

  • 이홍로 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소) ;
  • 박진원 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소) ;
  • 여환국 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소) ;
  • 임승현 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소) ;
  • 윤의준 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소)
  • Published : 2001.02.22
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Abstract

Keywords