한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2001년도 창립10주년 제20회 학술발표회
- /
- Pages.150-150
- /
- 2001
Rf-magnetron 스퍼터링 법을 이용한 MOS 게이트용 $HfO_{2}/Hf-silicate$ 박막의 증착 및 특성 분석
- 이헌정 (성균관대학교 물리학과) ;
- 배근학 (성균관대학교 물리학과) ;
-
정동근
(성균관대학교 물리학과) ;
- 강혁수 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
-
노용한
(성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 양철웅 (성균관대학교 금속재료공학부)
- Lee, Heon-Jeong ;
- Bae, Geun-Hak ;
-
Jeong, Dong-Geun
;
- Gang, Hyeok-Su ;
-
No, Yong-Han
;
- Yang, Cheol-Ung
- 발행 : 2001.02.22