Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.02a
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- Pages.150-150
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- 2001
Rf-magnetron 스퍼터링 법을 이용한 MOS 게이트용 $HfO_{2}/Hf-silicate$ 박막의 증착 및 특성 분석
- Lee, Heon-Jeong ;
- Bae, Geun-Hak ;
- Jeong, Dong-Geun ;
- Gang, Hyeok-Su ;
- No, Yong-Han ;
- Yang, Cheol-Ung
- 이헌정 (성균관대학교 물리학과) ;
- 배근학 (성균관대학교 물리학과) ;
- 정동근 (성균관대학교 물리학과) ;
- 강혁수 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 노용한 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 양철웅 (성균관대학교 금속재료공학부)
- Published : 2001.02.22
Abstract
Keywords