Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Hybrid Filtered Vacuum Arc 증착법 의해 제작된 실리콘 함유 ta-C 박막의 미세 구조 및 물성

  • 이철승 (연세대학교 세라믹 공학과) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원, 박막기술연구센터) ;
  • 윤기현 (한국과학기술연구원, 박막기술연구센터)
  • Published : 2001.02.22
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Abstract

Keywords