BCl3/N2를 이용한 AlGaAs/GaAs의 플라즈마 에칭에서의 end-point detection을 위한 Optical Emission Spectroscopy의 응용

• Lee, Je-Won ;
• Son, Yeong-Jun ;
• Jeong, Pil-Gu ;
• Choe, Hyeon-Gwang ;
• Jeon, Min-Hyeon ;
• Jo, Gwan-Sik ;
• Devre, Mike (Unaxis, Inc.) ;
• Johnson, Dave (Unaxis, Inc.) ;
• Sasserath, Jay (Unaxis, Inc.) ;
• Pearton, Steve (Dept. of MSE. University of Florida)

• 이제원 (인제대학교 광공학과) ;
• 손영준 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
• 정필구 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
• 최현광 (인제대학교 광공학과) ;
• 전민현 (인제대학교 광공학과) ;
• 조관식 (인제대학교 광공학과) ;
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• Published : 2001.02.22

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