Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.02a
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- Pages.113-113
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- 2001
대면적 Glass 기판 위에 Double Erosion MSS로 증착된 고저항 ITO 박막의 특성
- Son, Yeong-Ho ;
- Baek, Min ;
- Kim, Eun-Do ;
- Yun, Jong-Man ;
- Hwang, Do-Won ;
- Jeon, Jong-Seong ;
- Ju, Jin-Ung ;
- An, In-U ;
- Kim, Jin-Hyeon ;
- Jeong, Jae-In
- 손영호 ((주)알파플러스) ;
- 백민 ((주)알파플러스) ;
- 김은도 ((주)알파플러스) ;
- 윤종만 ((주)알파플러스) ;
- 황도원 ((주)알파플러스) ;
- 전종성 ((주)나우테크) ;
- 주진웅 ((주)나우테크) ;
- 안인우 ((주)나우테크) ;
- 김진현 (상주대학교) ;
- 정재인 (포항산업과학연구원)
- Published : 2001.02.22
Abstract
Keywords