Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2001.02a
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Pages.111-112
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2001

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

UBM 스퍼터링을 이용한 불용성 전극용 Ta 박막의 증착 및 특성

허영준 (포항산업과학연구원) ;
손영호 (포항산업과학연구원) ;
정우철 (포항산업과학연구원) ;
정재인 (포항산업과학연구원) ;
고광락 (경북대학교 화학공학과)

Published : 2001.02.22

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Abstract

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