플라즈마 중합된 저유전상수 para-xylene 박막의 $H_{2}+He$ 플라즈마 처리에 의한 유전 및 열 특성 향상

• Gwon, Yeong-Chun ;
• Yeo, Sang-Hak ;
• Sim, Cheon-Man ;
• Yang, Jae-Yeong ;
• Jeong, Dong-Geun

• 권영춘 (성균관대학교 물리학과) ;
• 여상학 (성균관대학교 물리학과) ;
• 심천만 (성균관대학교 물리학과) ;
• 양재영 (성균관대학교 물리학과) ;
• 정동근 (성균관대학교 물리학과)

• Published : 2001.02.22

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