한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2001년도 창립10주년 제20회 학술발표회
- /
- Pages.59-60
- /
- 2001
YSZ를 완충층으로 적층성장된 절연막($CeO_{2}$ /YSZ/Si)위에 증착한 Si박막의 결정성 향상에 관한 연구
- 발행 : 2001.02.22