Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.02a
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- Pages.59-60
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- 2001
YSZ를 완충층으로 적층성장된 절연막($CeO_{2}$ /YSZ/Si)위에 증착한 Si박막의 결정성 향상에 관한 연구
- Published : 2001.02.22
Abstract
Keywords