Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.02a
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- Pages.55-55
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- 2001
($Co_{1-x}-Ta_{x}/Si$ 시스템에서의 실리사이드 형성 반응 연구)
- Published : 2001.02.22
Abstract
Keywords