Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.02a
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- Pages.53-54
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- 2001
Laser induced crystallization of amorphous $Sil_{-x}Ge_{x}$ films
- Lee, Hong-Ro ;
- Park, Jin-Won ;
- Yeo, Hwan-Guk ;
- Im, Seung-Hyeon ;
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Yun, Ui-Jun
;
- Park, Gi-Chan ;
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Han, Min-Gu
- 이홍로 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소) ;
- 박진원 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소) ;
- 여환국 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소) ;
- 임승현 (서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소) ;
-
윤의준
(서울대학교 재료공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소)
;
- 박기찬 (서울대학교 전기공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소) ;
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한민구
(서울대학교 전기공학부 및 서울대학교 반도체공동연구소)
- Published : 2001.02.22
Abstract
Keywords