한국전자현미경학회:학술대회논문집
- 한국현미경학회 2001년도 제32차 추계학술대회
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- Pages.75-79
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- 2001
High A/R Contact 평가를 위한 Tilt 평면 FIB-TEM 시편제작
Preparation of Tilted Plan-view FIB-TEM Sample for High A/R Contact Analysis
- 최진태 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 최근영 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 김종협 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 김원 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
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양준모
((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 박주철 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 이순영 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀)
- Choe, Jin-Tae ;
- Choe, Geun-Yeong ;
- Kim, JOng-Hyeop ;
- Kim, Won ;
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Yang, Jun-Mo
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- Park, Ju-Cheol ;
- Lee, Sun-Yeong
- 발행 : 2001.11.01