Preparation of Tilted Plan-view FIB-TEM Sample for High A/R Contact Analysis
High A/R Contact 평가를 위한 Tilt 평면 FIB-TEM 시편제작
- Choe, Jin-Tae ;
- Choe, Geun-Yeong ;
- Kim, JOng-Hyeop ;
- Kim, Won ;
-
Yang, Jun-Mo
;
- Park, Ju-Cheol ;
- Lee, Sun-Yeong
- 최진태 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 최근영 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 김종협 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 김원 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
-
양준모
((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀)
;
- 박주철 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 이순영 ((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀)
- Published : 2001.11.01
Abstract
Keywords