Optical, Structural and Photocatalystic Activity Properties of $TiO_2$-$SiO_2$ Thin Films by a Sol-Gel Method

졸-겔법으로 제작한 $TiO_2$-$SiO_2$ 박막의 광학적, 구조적 및 광분해 특성

TiO$_2$와 SiO$_2$는 일반적으로 가시광 영역에서부터 근적외선까지의 넓은 파장영역의 광학박막을 제작하기 위한 물질로서 사용되어져 오고 있다. 이 두 물질은 비교적 큰 굴절률 차이를 지니고 있어 이들을 이용한 다층박막 또는 혼합박막에 대한 연구가 이루어져왔다. TiO$_2$-SiO$_2$ 혼합박막을 제작하기 위해 e-beam evaporation, CVD, flame hydrolysis, sol-gel 등 다양한 방법이 연구되고 있다. 특히 sol-gel법은 혼합물질의 조성이 용이하고 최종 물질의 광학적 특성이 우수하다. (중략)