한국대기환경학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference)
- 한국대기환경학회 2001년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.54-55
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- 2001
클린룸의 분자상 오염물질 관찰
The Observation of Airborne Molecular Contaminations in Cleanroom
초록
반도체 산업에서 메모리의 고집적화, 회로 패턴의 미세화에 따라 클린룸 공기중에 존재하는 분자상오염 물질 (Airborne Molecular Contaminants, AMCs)이 제조공정에 미치는 영향이 매우 중요하게 대두되었다
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