Study on the impact wear property TiN thin film with Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN structure

Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구

  • 김광석 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 김범석 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 이상율 (한국항공대학교 항공재료공학과)
  • Published : 2001.11.01