대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 2001년도 하계종합학술대회 논문집(2)
- /
- Pages.185-188
- /
- 2001
ALD법으로 성장시킨 $Al_2$ O$_3$ 박막의 특성분석
Characteristic Analysis of $Al_2$ O$_3$ Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition
초록
In this study,
키워드