Proceedings of the Korea Crystallographic Association Conference (한국결정학회:학술대회논문집)

2001.05a
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Pages.27-27
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2001

Korean Crystallographic Association (한국결정학회)

권호 표지

Effect of nitrogen doping on the formation of grown-in defects in the Cz-Si single crystals

초크랄스키 실리콘 단결정에서 질소 첨가가 성장 결함 형성에 미치는 영향

박봉모 (LG 실트론 연구소) ;
최일수 (LG 실트론 연구소) ;
이홍우 (LG 실트론 연구소) ;
이동건 (LG 실트론 연구소) ;
유학도 (LG 실트론 연구소)

Published : 2001.05.01

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Abstract

Keywords