Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference (한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.161-164
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- 2001
Study on Etching Mechanism of Platinum thin film using Electron Cyclotron Resonance Plasma
ECR 플라즈마를 사용한 백금 박막의 식각 매카니즘에 관한 연구
Abstract
Keywords