Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Growth and Characterization of ZnO Film by the Helicon Wave Plasma Assisted Evaporation Process

Helicon Wave 플라즈마 보조 증발법을 이용한 ZnO 박막의 성장과 특성 평가

  • 박태희 (포항공과대학교 신소재공학과) ;
  • 김경보 (포항공과대학교 신소재공학과) ;
  • 김기성 (포항공과대학교 신소재공학과) ;
  • 김선효 (포항공과대학교 신소재공학과)
  • Published : 2001.11.01
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Abstract

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