Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.146-146
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- 2001
RPECVD of Low-K SiCOH/$C_xH_y$ dual phase film
저유전 SiCOH/$C_xH_y$ 이중상 박막의 원거리 플라즈마 화학증착
Abstract
Keywords