Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.11a
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Pages.146-146
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2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

RPECVD of Low-K SiCOH/$C_xH_y$ dual phase film

저유전 SiCOH/$C_xH_y$ 이중상 박막의 원거리 플라즈마 화학증착

박종민 (포항공과대학교) ;
이시우 (포항공과대학교)

Published : 2001.11.01

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Abstract

Keywords