Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.11a
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Pages.144-144
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2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Etching characteristics of Ru films using O2/Cl2 plasma

산소 및 염소 플라즈마를 이용한 류테늄 미세패턴 식각특성

김광식 (인하대학교 재료공학부) ;
이정호 (인하대학교 재료공학부) ;
김현우 (인하대학교 재료공학부) ;
한재현 (삼성전자(주)) ;
주병선 (삼성전자(주)) ;
강창진 (삼성전자(주)) ;
문주태 (삼성전자(주))

Published : 2001.11.01

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Abstract

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