한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

기판 바이어스 변화에 따른 BN박막의 미세구조와 응력 변화

Microstructure and stress evolution of boron nitride thin film with varying the substrate bias

  • 김홍석 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 최인훈 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 백영준 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • 발행 : 2001.11.01
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