Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.124-124
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- 2001
Microstructure and stress evolution of boron nitride thin film with varying the substrate bias
기판 바이어스 변화에 따른 BN박막의 미세구조와 응력 변화
Abstract
Keywords