Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.81-81
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- 2001
The Simulation of Copper Diffusion in $SiO_2$ during BTS Test
Simulation을 통한 Bias Temperature Stress Test (BTS) test 시 Cu의 $SiO_2$ 로의 확산에 대한 연구
Abstract
Keywords