Characterization of ITO thin film by Nanoindentation

나노인덴테이션을 이용한 ITO 박막의 특성 평가

  • 김봉섭 (경남대학교 대학원 재료공학과) ;
  • 윤존도 (경남대학교 대학원 재료공학과)
  • Published : 2001.11.01