Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Properties of Cu thin films as Cu/Ti/Si multi-layer deposition conditions

Cu/Ti/Si 다층 박막의 증착조건에 따른 Cu 박막의 특성 연구

  • 홍성진 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 양희정 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 이재갑 (국민대학교 금속재료공학부)
  • Published : 2001.11.01
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