Fatigue in sol-gel derived $Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$ thin films having Pt bottom and $PtO_{x}$ x/ electrodes.

sol-gel법을 이용한 $Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$박막의 하부 Pt 전극과 상부 $PtO_{x}$ 전극에 따른 피로현상

  • Published : 2001.11.01