Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Characterization of Silicon-base substrate materials by nanoindentation

나노인덴테이션을 이용한 규소계 기판 재료의 특성분석

  • 김봉섭 (경남대학교 대학원 재료공학과) ;
  • 고철호 (경남대학교 대학원 재료공학과) ;
  • 김상현 (경남대학교 대학원 재료공학과) ;
  • 전병세 (경남대학교 대학원 재료공학과) ;
  • 권혁보 (경남대학교 대학원 재료공학과) ;
  • 윤존도 (경남대학교 대학원 재료공학과)
  • Published : 2001.05.01
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Abstract

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