Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.05a
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Pages.113-113
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2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Study on low roughness SiC PEC etching process using $H_2O_2$

$H_2O_2$를 이용한 고평활도 SiC 광전화학 식각에 관한 연구

송정균 (명지대학교 세라믹공학과) ;
신무환 (명지대학교 세라믹공학과)

Published : 2001.05.01

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Abstract

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