한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

액체수송 유기금속 화학증착법 (LDS-MOCVD)에 의한 $Pb(Zr_xTi_{1-x})O_3$ 박막의 저온 ($450^{\circ}C$-$500^{\circ}C$) 증착 및 특성분석

Low temperature deposition of $Pb(Zr_xTi_{1-x})O_3$ thin films by LDS-injection metal-organic chemical vapor deposition

  • 정시화 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실) ;
  • 김혜령 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실) ;
  • 조금석 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실) ;
  • 임지은 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실) ;
  • 황철성 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실) ;
  • 양두영 (주성 엔지니어링) ;
  • 오기영 (주성 엔지니어링)
  • 발행 : 2001.05.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드