Barrier properties of CrTiN thin films for ferroelectric capacitor applications

강유전체 캐퍼시터에 적용하기 위한 CrTiN 방지막의 특성

  • 구준모 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 김지영 (국민대학교 금속재료공학부)
  • Published : 2001.05.01