Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.05a
- /
- Pages.65-65
- /
- 2001
High rate and low temperature deposition of polycrystalline silicon films by Hot-Wire CVD
열선 화학 기상증착법에 의한 다결정 실리콘 박막의 고속 저온 증착
Abstract
Keywords