한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

2단계 증착법으로 제조한 Pb(Zr, Ti)$O_3$ 압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구

The Electrical Properties and Residual Stress of Pb(Zr, Ti)$O_3$Piezoelectric Thin Films fabricated by 2-Step Deposition Method

  • 발행 : 2001.05.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드