Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.05a
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- Pages.33-33
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- 2001
The Electrical Properties and Residual Stress of Pb(Zr, Ti)$O_3$ Piezoelectric Thin Films fabricated by 2-Step Deposition Method
2단계 증착법으로 제조한 Pb(Zr, Ti)$O_3$ 압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구
Abstract
Keywords