Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2001.07a
- /
- Pages.275-278
- /
- 2001
Electrical Characterization of PZT and Electrodes after Dry Etching in Inductively Coupled plasma
유도결합 플라즈마를 이용한 PZT/전극의 식각 후 전기적 특성
- Kim, Kyung-Tae ;
- Kang, Myoung-Gu ;
- Park, Young ;
- Song, Jun-Tae ;
- Lee, Cheol-In ;
- Jang, Eui-Goo ;
- Kim, Chang-Il
- 김경태 (중앙대학교 전기전자공학부) ;
- 강명구 (중앙대학교 전기전자공학부) ;
- 박영 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
- 송준태 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
- 이철인 (안산공과대학 전기과) ;
- 장의구 (중앙대학교 전기전자공학부) ;
- 김창일 (중앙대학교 전기전자공학부)
- Published : 2001.07.01
Abstract
Ferroelectric PZT thin films were fabricated on the RuO