Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Detection Circuit Design and Performance Test of Gimbal-Stuctured Micro-Accelerometer

마이크로 가속도계의 신호 검출 회로 설계 및 성능시험

  • Sung, W.T. (ACRC, SoEE, Seoul National University, Microlnfinity co., ltd.) ;
  • Lee, J.G. (ACRC, SoEE, Seoul National University, Microlnfinity co., ltd.) ;
  • Kang, T. (SoEE, Hoseo University) ;
  • Song, J.W. (ACRC, SoEE, Seoul National University, Microlnfinity co., ltd.) ;
  • Sung, S.K. (ACRC, SoEE, Seoul National University, Microlnfinity co., ltd.)
  • 성운탁 (서울대 전기공학부 자동제어특화연구센터, (주)마이크로인피니티) ;
  • 이장규 (서울대 전기공학부 자동제어특화연구센터, (주)마이크로인피니티) ;
  • 강태삼 (호서대 정보제어공학과) ;
  • 송진우 (서울대 전기공학부 자동제어특화연구센터, (주)마이크로인피니티) ;
  • 성상경 (서울대 전기공학부 자동제어특화연구센터, (주)마이크로인피니티)
  • Published : 2001.07.18
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Abstract

본 논문에서는 MEMS 기술에 의해 제작된 마이크로 가속도계를 위한 신호 검출 및 처리회로를 설계 제작하였으며, 레이트 테이블을 이용한 실험을 통해 제작된 센서 및 신호처리회로의 성능을 시험하였다. 본 논문에서 제시한 가속도계는 입력 가속도에 따라 용량이 변하는 방식으로, 두개의 김블 구조를 가지므로 타축 입력 가속도의 영향을 적게 받는 장점이 있다. 또한 감지전극의 효과적 배치를 통해 감도가 커지도록 설계되었다. 신호검출 및 처리는 여기 신호를 이용한 차분검출방식을 이용하였다. 이 방식은 구성이 복잡한 단점이 있으나, 잡음 신호와 검출 신호를 주파수 영역에서 분리시킬 수 있으며, 기생용량의 영향을 감소시키고 전기적 감도를 증가시키는 장점이 있다. 실험을 통해 제시한 신호검출 및 처리방식을 이용할 경우 가속도계의 성능이 향상되는 것을 확인하였다.

Keywords