Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Thermal Stability and Electrical Property of TaSiN Oxygen Diffusion Barrier

TaSiN 산소 확산 방지막의 열적 안정성 및 전기적 특성에 관한 연구

  • 김명선 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 한귀영 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 김일두 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 김호기 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 2000.10.20
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Abstract

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