Microstructures and Electrical Properties of $Mn_xCo_yNi_zO_4$ Thin Film by RF Magnetron Sputtering System

RF sputtering에 의한 $Mn_xCo_yNi_zO_4$ 박막의 미세구조와 전기적 특성

  • 김영진 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 이재열 (한양대학교 반도체공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2000.10.20