Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Characterization of PZT(52/48) Thin Films Prepared by Diol based Sol-Gel Process

Diol sol-gel 법에 의해 제조한 PZT(52/48) 박막 두께에 따른 특성

  • 이정훈 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 김태송 (한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터)
  • Published : 2000.10.20
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Abstract

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