Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

A characteristics of $ZrO_2$ gate dielectric upon annealing

열처리에 따른 $ZrO_2$ 게이트 유전막의 특성

  • 유정호 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 남석우 (연세대학교 세라믹공학과, 삼성전자 반도체연구소) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2000.10.20
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Abstract

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