Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2000.10a
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- Pages.161.1-161
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- 2000
Effects of Pt and Ir Electrodes on $Pb(Zr_xTi_{1-x})O_3$ Thin Films Deposited at Low Temperature(400$^{\circ}C$ -500$^{\circ}C$ ) by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition with Liquid Delievery System
액체수송 유기금속 화학증착법(LDS-MOCVD)에 의해 Pt전극과 Ir전극 위에 저온(400$^{\circ}C$ -500$^{\circ}C$ )증착된 $Pb(Zr_xTi_{1-x})O_3$ 박막의 특성분석
- Kim, Hye-Ryeong ;
- Jeong, Si-Hwa ;
- Jeon, Chung-Bae ;
- Gwon, O-Seong ;
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Hwang, Cheol-Seong
;
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Han, Yeong-Gi
;
- Yang, Du-Yeong ;
- O, Gi-Yeong ;
- Hwang, Cheol-Ju
- 김혜령 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실) ;
- 정시화 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실) ;
- 전충배 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실) ;
- 권오성 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실) ;
-
황철성
(서울대학교 재료공학부 유전박막실험실)
;
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한영기
(주성 엔지니어링)
;
- 양두영 (주성 엔지니어링) ;
- 오기영 (주성 엔지니어링) ;
- 황철주 (주성 엔지니어링)
- Published : 2000.10.20
Abstract
Keywords