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Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
(한국세라믹학회:학술대회논문집)
2000.10a
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Pages.71.2-71
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2000
The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
Photoelectrochemical etching of 6H-SiC wet etching
6H-SiC의 광전화학 습식식각특성
Song, Jeong-Gyun
;
Lee, Byeong-Ha
;
Sin, Mu-Hwan
송정균
(명지대학교 세라믹공학과) ;
이병하
(명지대학교 세라믹공학과) ;
신무환
(명지대학교 세라믹공학과)
Published : 2000.10.20
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